МИА-Д предназначен для измерения профиля поверхности отражающих динамических объектов в микро- и нанодиапазоне, а также распределения показателя преломления прозрачных динамических объектов (при использовании специальной кюветы). Использование высокоскоростной камеры позволяет проводить измерения с частотой 50 Гц.
МИА-Д может использоваться в биологии для исследования динамики микробиологических объектов без окрашивания.
В составе имеются две видеокамеры для двух различных полей зрения.
Принцип действия основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия.
Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС камеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме.
В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Все поставляемое оборудование ВНИИОФИ прошло первичную поверку |