Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1М (микропрофилометр)

МИА-1М предназначен для измерения профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне, а также распределения показателя преломления прозрачных объектов (при использовании специальной кюветы).

Микропрофилометр МИА-1М позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.) и рассчитывать параметры шероховатости (Ra, Rz, Rmax и пр.).

МИА-1М может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания.

В составе МИА-1М имеются две видеокамеры для двух различных полей зрения. Для расширения диапазона измерения высот профиля поверхности используется метод регистрации на нескольких длинах волн.

Области применения МИА-1М

в промышленности:

• бесконтактное измерение микропрофиля отражающих поверхностей
• измерение высотных и шаговых параметров шероховатости
• измерение толщины тонких пленок
• динамические измерения

в биологии и медицине:

• возможность исследования живых неокрашенных клеток
• морфометрия клеток
• измерение сухого веса клеток с точностью 10^-12 г
• измерение показателя двулучепреломления
• оценка состояния популяции клеток
• динамическая фазовая микроскопия

Принцип действия МИА-1М основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС камеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.